潔凈室不僅僅對室內空氣潔凈度有嚴格的要求，針對運行環(huán)境的噪音也有一定的國家標準參數，因為潔凈室車(chē)間是一個(gè)相對密閉的、比較壓抑的一個(gè)環(huán)境，如果噪音控制不當，很容易造成車(chē)間工作人員以及生產(chǎn)環(huán)境的惡化。  

① 噪聲的測定方法：  

       當房間的面積不大于 50m2 時(shí)，僅測定房間中心一個(gè)點(diǎn)。當房間的面積較大時(shí)，每增加 50m2 增加一個(gè)測點(diǎn)。測點(diǎn)距離地面 1.0m。當有條件時(shí)，宜測房間靜態(tài)工況的噪聲和本底噪聲。  

② 合格標準：  

        應符合設計要求，根據（潔凈廠(chǎng)房設計規范）的要求，潔凈室空態(tài)情況下非單向流潔凈室的噪聲不應大于 60dB(A)。單向流和混合流潔凈室的噪聲不應大于 65 dB(A)。  

潔凈室噪聲控制 

       潔凈室噪聲標準的制訂主要考慮噪聲的煩惱效應、語(yǔ)言通訊干擾和對工作效率的影響。國內對于噪聲對于健康影響的研究表明，低于80dB（A）的一般工業(yè)噪聲對健康的影響不太大。 

        國外潔凈室噪聲標準的研究工作開(kāi)始于20世紀60年代。1966年制定的美國聯(lián)邦標準209a和1974修訂的209b規定：“潔凈室的噪聲控制在可能進(jìn)行必要的通話(huà)，滿(mǎn)足操作或產(chǎn)品的要求，并使人員保持在舒適和安全的范圍內”。在ISO/DIS14644-4標準（草案）中規定：“應根據潔凈室內人的舒適和安全要求及環(huán)境（如其它設備）的背壓級來(lái)選擇適宜的聲壓級。潔凈室的聲壓級范圍為40-65dB（A）”。 

       從搜集的國內外潔凈室的噪聲標準來(lái)看，有以下幾個(gè)特點(diǎn)：潔凈室的噪聲標準一般均嚴于保護健康的標準。在潔凈室的環(huán)境下，噪聲條件主要在于保障正常操作運行，滿(mǎn)足必要的談話(huà)聯(lián)系，提供舒適的工作環(huán)境。絕大多數標準給出的允許值在65-70dB（A）范圍，醫療行業(yè)更低?，F行的大多數標準均以A聲級作為評價(jià)指標，也有少數標準對于各頻帶聲壓級提出限制。少數標準按不同的空氣潔凈度等級分別給出噪聲容許值，而大多數標準對不同的空氣潔凈度等級潔凈室提出一個(gè)統一的容許值。 

       對國內幾個(gè)行業(yè)不同氣流流型潔凈室的靜態(tài)和動(dòng)態(tài)噪聲所進(jìn)行的分析表明，不同氣流流型的靜態(tài)噪聲有較大的差異。非單向流潔凈室的靜態(tài)噪聲實(shí)測值在41-64 dB（A），平均為54 dB（A）；單向流、混合流潔凈室的靜態(tài)噪聲實(shí)測值在51-75 dB（A），平均為65 dB（A）。非單向流潔凈室較之單向流潔凈室的靜態(tài)噪聲平均值約低11 dB（A）。非單向流潔凈室和單向流、混合流潔凈室靜態(tài)噪聲的差異與其送風(fēng)量（或換氣次數）和凈化空調系統的特征有關(guān)。 

       控制設備噪聲首先應從聲源上著(zhù)手，設計時(shí)應選用低噪聲設備。在某些情況下，由于技術(shù)或經(jīng)濟的原因而難于做到時(shí)，則應從噪聲傳播途徑上來(lái)采取降噪措施。例如，把高噪聲工藝設備遷出潔凈室或隔離布置于隔聲間內。必須置于潔凈室內的高噪聲設備，亦可采用隔聲罩隔絕噪聲。國內有些潔凈室將機械泵一類(lèi)高噪聲設備置于潔凈室外套間，或技術(shù)夾道或服務(wù)區內，潔凈室噪聲有明顯的降低。 

       潔凈室的靜態(tài)噪聲主要來(lái)源于凈化空調系統和局部?jì)艋O備運行噪聲，靜態(tài)噪聲的大小與潔凈室氣流流型、換氣次數等因素有關(guān)。但關(guān)鍵在于凈化空調系統的合理布置及合理的降噪措施。 

       關(guān)于降低潔凈室凈化空調系統噪聲的措施，國內外有關(guān)資料提出一些有效措施： 

      《現代潔凈室概念》一文中強調“選擇那種能滿(mǎn)足氣流要求的噪聲最低的風(fēng)機，還應該采用彈性減振基礎”。關(guān)于消聲器的使用，文中說(shuō)：“管道消聲器在高頻和中頻范圍內降低噪聲是有效的，當風(fēng)管敷設長(cháng)度在15m內時(shí)，就應考慮采用消聲器”。關(guān)于風(fēng)管的連接，文中說(shuō)：“通風(fēng)機和送風(fēng)管道與回風(fēng)管道之間，應采用柔性連接管隔開(kāi)”。還要求“將通風(fēng)機外殼、靜壓箱和管道加上襯里”。 

        對風(fēng)道系統采取消聲和防止管道固體傳聲等措施，潔凈室噪聲可以大幅度地降低。 

         排風(fēng)系統噪聲對潔凈室影響極大。以集成電路生產(chǎn)為例，在生產(chǎn)過(guò)程中，外延、擴散、腐蝕、清洗等多種工序都需要設排風(fēng)系統。近年來(lái)，對于潔凈廠(chǎng)房排風(fēng)系統噪聲治理日益受到重視，注意選用低噪聲風(fēng)機等。 

        潔凈室的密封性能比較好，噪聲不易衰減，由于潔凈室內的工作環(huán)境要求比較安靜，按規定減少風(fēng)管風(fēng)速，既減少了凈化空調系統的阻力，降低了風(fēng)機壓頭和轉速，減弱了風(fēng)機噪聲，又防止了風(fēng)速過(guò)大而產(chǎn)生的附加噪聲。

        潔凈室在使用期間，除了要對你潔凈度、溫濕度做測試和控制之外，對噪音標準也需要控制。人和凈化解析潔凈室噪音標準和潔凈室噪音控制方法。

        潔凈室噪聲標準的制訂主要考慮噪聲的煩惱效應、語(yǔ)言通訊干擾和對工作效率的影響。 

        國內對于噪音對于健康影響的研究表明，低于80dB(A)的一般工業(yè)噪聲對健康的影響不太大。 

        國外潔凈室噪聲標準的研究工作開(kāi)始于20世紀60年代。1966年制定的美國聯(lián)邦標準209a和1974修訂的209b規定：“潔凈室的噪聲控制在可能進(jìn)行必要的通話(huà)，滿(mǎn)足操作或產(chǎn)品的要求，并使人員保持在舒適和安全的范圍內”。在ISO/DIS14644-4標準(草案)中規定：“應根據潔凈室內人的舒適和安全要求及環(huán)境(如其它設備)的背壓級來(lái)選擇適宜的聲壓級。潔凈室的聲壓級范圍為40-65dB(A)”。 

       從搜集的國內外潔凈室的噪音標準來(lái)看，有以下幾個(gè)特點(diǎn)：潔凈室的噪音標準一般均嚴于保護健康的標準。在潔凈室的環(huán)境下，噪聲條件主要在于保障正常操作運行，滿(mǎn)足必要的談話(huà)聯(lián)系，提供舒適的工作環(huán)境。絕大多數標準給出的允許值在65-70dB(A)范圍，醫療行業(yè)更低?，F行的大多數標準均以A聲級作為評價(jià)指標，也有少數標準對于各頻帶聲壓級提出限制。少數標準按不同的空氣潔凈度等級分別給出噪聲容許值，而大多數標準對不同的空氣潔凈度等級潔凈室提出一個(gè)統一的容許值。 

        對國內幾個(gè)行業(yè)不同氣流流型潔凈室的靜態(tài)和動(dòng)態(tài)噪聲所進(jìn)行的分析表明，不同氣流流型的靜態(tài)噪音有較大的差異。非單向流潔凈室的靜態(tài)噪聲實(shí)測值在41-64 dB(A)，平均為54 dB(A);單向流、混合流潔凈室的靜態(tài)噪聲實(shí)測值在51-75 dB(A)，平均為65 dB(A)。非單向流潔凈室較之單向流潔凈室的靜態(tài)噪聲平均值約低11 dB(A)。非單向流潔凈室和單向流、混合流潔凈室靜態(tài)噪聲的差異與其送風(fēng)量(或換氣次數)和凈化空調系統的特征有關(guān)。   控制設備噪聲首先應從聲源上著(zhù)手，設計時(shí)應選用低噪聲設備。在某些情況下，由于技術(shù)或經(jīng)濟的原因而難于做到時(shí)，則應從噪聲傳播途徑上來(lái)采取降噪措施。例如，把高噪聲工藝設備遷出潔凈室或隔離布置于隔聲間內。必須置于潔凈室內的高噪聲設備，亦可采用隔聲罩隔絕噪聲。國內有些潔凈室將機械泵一類(lèi)高噪聲設備置于潔凈室外套間，或技術(shù)夾道或服務(wù)區內，潔凈室噪聲有明顯的降低。 

         潔凈室的靜態(tài)噪聲主要來(lái)源于凈化空調系統和局部?jì)艋O備運行噪聲，靜態(tài)噪聲的大小與潔凈室氣流流型、換氣次數等因素有關(guān)。但關(guān)鍵在于凈化空調系統的合理布置及合理的降噪措施。 

        關(guān)于降低潔凈室凈化空調系統噪聲的措施，國內外有關(guān)資料提出一些有效措施： 

       《現代潔凈室概念》一文中強調“選擇那種能滿(mǎn)足氣流要求的噪聲最低的風(fēng)機，還應該采用彈性減振基礎”。關(guān)于消聲器的使用，文中說(shuō)：“管道消聲器在高頻和中頻范圍內降低噪聲是有效的，當風(fēng)管敷設長(cháng)度在15m內時(shí)，就應考慮采用消聲器”。關(guān)于風(fēng)管的連接，文中說(shuō)：“通風(fēng)機和送風(fēng)管道與回風(fēng)管道之間，應采用柔性連接管隔開(kāi)”。還要求“將通風(fēng)機外殼、靜壓箱和管道加上襯里”。對風(fēng)道系統采取消聲和防止管道固體傳聲等措施，潔凈室噪聲可以大幅度地降低。 

        排風(fēng)系統噪聲對潔凈室影響極大。以集成電路生產(chǎn)為例，在生產(chǎn)過(guò)程中，外延、擴散、腐蝕、清洗等多種工序都需要設排風(fēng)系統。近年來(lái)，對于潔凈廠(chǎng)房排風(fēng)系統噪聲治理日益受到重視，注意選用低噪聲風(fēng)機等。 

         潔凈室的密封性能比較好，噪聲不易衰減，由于潔凈室內的工作環(huán)境要求比較安靜，按規定減少風(fēng)管風(fēng)速，既減少了凈化空調系統的阻力，降低了風(fēng)機壓頭和轉速，減弱了風(fēng)機噪聲，又防止了風(fēng)速過(guò)大而產(chǎn)生的附加噪聲。 

潔凈廠(chǎng)房設計規范里的噪音控制標準 

  1、潔凈室內的噪聲級(空態(tài))，非單向流潔凈室不應大于60dB(A)，單向流、混合流潔凈室不應大于65 dB(A)。 

  2、潔凈廠(chǎng)房的平、剖面設計應考慮控制要求。潔凈室的維護結構應具有良好的隔聲性能，并使各部分隔聲量相接近。 

  3、潔凈室內的各種設備應選用低噪聲產(chǎn)品。對于輻射噪聲值超過(guò)潔凈室允許值的設備，應設置專(zhuān)用隔聲設施(如隔聲間、隔聲罩等)。 

  4、凈化空調系統噪聲超過(guò)允許值時(shí)，應采取隔聲、消聲、隔振等控制措施。潔凈室內的排風(fēng)系統除事故排風(fēng)外應進(jìn)行減噪設計。 

  5、凈化空調系統，根據室內容許噪聲級要求，風(fēng)管內風(fēng)速宜按下列規定選用總風(fēng)管： 6-10m/s; 

無(wú)送、回風(fēng)口的支風(fēng)管為4-6m/s; 

有送、回風(fēng)口的支風(fēng)管為2-5m/s。